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固體電介質的擊穿形式有：電擊穿、熱擊穿和電化學擊穿。同一種電介質在不同的外界條件下，可以發生不同的擊穿形式。

1、電擊穿

由于外電場的存在，電離電子在強電場中積累起足夠能量，使其相互間發生碰撞導致電擊穿。其特點是過程快，擊穿電壓高。

2、熱擊穿

擊穿電壓隨溫度和電壓作用時間的延長而迅速下降，這時的擊穿過程與電介質中的熱過程有關，稱為熱擊穿。環境溫度和電壓作用時間增加，熱擊穿電壓下降;電介質厚度增加，平均擊穿場強將下降。

3、電化學擊穿

在電場作用下，電介質中可能因此而發生化學變化，不可逆地逐漸增大了電介質的電導，最后導致擊穿，稱為電化學擊穿。由于化學變化通常導致介質損失增加，因而電化學擊穿的最終形式常是熱擊穿。

4、沿面擊穿

在實際的絕緣結構中，固體介質周圍往往有氣體或液體介質，擊穿常常沿著兩種電介質交界面并在電氣強度較低的一側發生，稱為沿面擊穿。沿面擊穿電壓比單一介質擊穿電壓要低。電容器電極邊緣，電機線(棒)端部絕緣體很容易發生沿面放電，對絕緣的損害很大。

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